Die jüngsten Fortschritte beim Wachstum epitaxialer SiC-Filme auf Si werden im Überblick dargestellt. Die grundlegenden klassischen Methoden, die derzeit für das Wachstum von SiC-Schichten verwendet werden, werden diskutiert und ihre Vor- und Nachteile werden untersucht. Die Grundidee und der theoretische Hintergrund für ein neues Verfahren zur Synthese epitaktischer SiC-Schichtenauf Si gegeben si...
Ein berührungsloses, zerstörungsfreies Bildgebungsverfahren für die ortsaufgelöste Dotierstoffkonzentration, [2.2] N d, und den elektrischen Widerstand, ρ, von n- und p-leitenden Siliziumwaferndie Verwendung von Lock-in-Trägerographiebildern bei verschiedenen Laserbestrahlungsintensitäten wird vorgestellt. Amplituden- und Phaseninformationen von Waferstellen mit bekanntem spezifischem Widerstand w...
Wir haben die Effizienz von photoleitfähigen Antennen (PCAs) unter Verwendung von bei niedriger Temperatur gewachsenem GaAs (LT-GaAs) verbessert. Wir fanden heraus, dass die physikalischen Eigenschaften von photoleitfähigen LT-GaAs-Schichten die Erzeugungs- und Erfassungseigenschaften von Terahertz (THz)-Wellen stark beeinflussen. Bei der THz-Erzeugung sind eine hohe photoangeregte Ladungsträgermo...
Es wurde ein vertikaler Heißwand-Epi-Reaktor entwickelt, der es ermöglicht, gleichzeitig eine hohe Wachstumsrate und eine großflächige Gleichförmigkeit zu erreichen. Mit einer spiegelähnlichen Morphologie bei 1650 ° C wird eine maximale Wachstumsrate von 250 µm / h erreicht. Unter einem modifizierten Epi-Reaktor Aufbau, eine Dickengleichmäßigkeit von 1,1% und eine Dotierungsgleichförmigkeit von 6,...
Die Bondtemperatur-abhängigen Lasercharakteristiken von 1,5 & mgr; m GaInAsP-Laserdiode (LD) werden auf direkt geklebt InP-Substrat oder Si-Substrat wurden erfolgreich erhalten. Wir haben das gemacht InP Substrat oder Si-Substrat unter Verwendung einer direkten hydrophilen Wafer-Bondtechnik bei Bondtemperaturen von 350, 400 und 450 ° C und abgeschiedenem GaInAsP oder InP-Doppelheterostruktursc...
Bei homogenen Materialien ermöglicht das Ultraschall-Immersionsverfahren, das mit einem numerischen Optimierungsprozess verbunden ist, der meist auf dem Newton-Algorithmus basiert, die Bestimmung elastischer Konstanten für verschiedene synthetische und natürliche Verbundmaterialien. Eine wesentliche Einschränkung des bestehenden Optimierungsverfahrens liegt jedoch vor, wenn sich das betrachtete Ma...
Orthogonale Experimente zum Wachstum von GaSb-Filmen GaAs-Substrat wurden mit einem Niederdruck-Metall-Organisch-Gasphasenabscheidungssystem (LP-MOCVD) entwickelt und durchgeführt. Die Kristallinitäten und Mikrostrukturen der erzeugten Filme wurden vergleichend analysiert, um optimale Wachstumsparameter zu erreichen. Es wurde gezeigt, dass der optimierte GaSb-Dünnfilm am halben Maximum (358 Bogens...
Unter Verwendung einer plasmaunterstützten chemischen Dampfabscheidung (PECVD) bei 13,56 MHz wird eine Keimschicht in der anfänglichen Wachstumsstufe des hydrierten mikrokristallinen Materials hergestellt Siliziumgermanium (μc-Si1-xGex: H) i-Schicht. Die Auswirkungen von Impfprozessen auf das Wachstum von μc-Si1-xGex: Hi-Schichten und die Leistung von μc-Si1-xGex: H p-i-n Solarzellen mit Einzelübe...
Wir stellen eine berührungslose Methode zur Bestimmung der thermischen Ansprechzeit von in Wafern eingebetteten Temperatursensoren vor. Bei diesem Verfahren beleuchtet eine Blitzlampe in periodischen Impulsen einen Punkt auf dem Wafer; Der Fleck befindet sich auf der gegenüberliegenden Seite des getesteten Sensors. Die thermische Zeitkonstante des Sensors wird dann aus der Messung seiner zeitliche...
Röntgen - topographische und chemische Ätzuntersuchung von Si: Ge-Einkristalle Es wurden 1,2 at% und 3,0 at% Ge zusammen mit genauen Gitterparametermessungen durchgeführt. In Projektionstopographen wurden Beugungskontraste in Form konzentrischer "Quasi-Kreise" (Streifen), wahrscheinlich aufgrund der ungleichmäßigen Verteilung der Ge-Atome, beobachtet. Die Ätzmuster zeigten Banden, die St...
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