Testwafer-Überwachungswafer-Dummy-Wafer

Sl. Nein

Artikel

scl  Spezifikationen

1

Wachstumsmethode

cz

2

Waferdurchmesser

150 ± 0,5 mm

3

Wafer-Dicke

675 ± 25 um

4

Waferoberfläche  Orientierung

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2º

5

Dotierstoff

Phosphor

6

Luxation  Dichte

weniger als  5000 / cm2

8

Widerstand

4-7Ωcm

9

radial  Widerstandsänderung (max.)

15%

10

Ebenheit

u0026 emsp;

10 A

·  Bogen (max.)

60 u0026 mgr; m

10b

·  tir (max.)

6 u0026 mgr; m

10c

·  Kegel (max.)

12 u0026 mgr; m

10d

·  Kette (max.)

60 u0026 mgr; m

11

primär  eben

u0026 emsp;

11a

·  Länge

57,5 ± 2,5 mm

11b

·       Orientierung

{110} ± 2 ° gemäß  Semi-Standard

11c

sekundär  eben

nach Semi  Standard

12

Vorderseite  Fertig

spiegelpoliert

13

max. Partikel  der Größe ≥0,3μm

30

14

·  Kratzer, Dunst, Kantenspäne, Orangenhaut & andere Mängel

Null

15

Rückseite

schadenfrei  geätzt

16

Verpackung  Anforderung

sollte Vakuum sein  versiegelt in der Klasse '10'Umwelt in Doppelschichtverpackung.Wäscher sollten sein  Versand in Fluorware Orion zwei Waferversender oder gleichwertige Fabrikate aus  ultra sauberes Polypropylen

Sl. Nein

Artikel

scl  Spezifikationen

1

Wachstumsmethode

cz

2

Waferdurchmesser

150 ± 0,5 mm

3

Wafer-Dicke

675 ± 25 um

4

Waferoberfläche  Orientierung

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2º

5

Dotierstoff

Phosphor

6

Luxation  Dichte

weniger als  5000 / cm2

8

Widerstand

4-7Ωcm

9

radial  Widerstandsänderung (max.)

15%

10

Ebenheit

u0026 emsp;

10 A

·  Bogen (max.)

60 u0026 mgr; m

10b

·  tir (max.)

6 u0026 mgr; m

10c

·  Kegel (max.)

12 u0026 mgr; m

10d

·  Kette (max.)

60 u0026 mgr; m

11

primäre Wohnung

u0026 emsp;

11a

·  Länge

57,5 ± 2,5 mm

11b

·       Orientierung

{110} ± 2 ° gemäß  Semi-Standard

11c

Zweitwohnung

nach Semi  Standard

12

Vorderseite  Fertig

spiegelpoliert

13

max. Partikel  der Größe ≥0,3μm

30

14

·  Kratzer, Dunst, Kantenspäne,

Null

Orangenschale  u0026Ampere; andere Mängel

15

Rückseite

spiegelpoliert

16

Verpackung  Anforderung

sollte Vakuum sein  versiegelt in Klasse '10'
Umwelt in Doppelschichtverpackung.
Wafer sollten in Fluorware versandt werden
Orion zwei Waferversender oder gleichwertig
Hergestellt aus ultra sauberem Polypropylen

Waferdurchmesser

poliert

Waferoberfläche

Wafer-Dicke

Widerstand

Partikel

Orientierung

4 "

1 Seite

100/111

250-500μm

0-100

0,2μm≤qty30

6 "

1 Seite

100

500-675 um

0-100

0,2μm≤qty30

8 "

1 Seite

100

600-750 um

0-100

0,2μm≤qty30

12 "

2 Seite

100

650-775 um

0-100

0,09μm≤qty100

Artikel#

Parameter

Einheiten

Wert

Anmerkungen

1

Wachstumsmethode

u0026 emsp;

cz

u0026 emsp;

2

Orientierung

u0026 emsp;

1-0-0

u0026 emsp;

3

Widerstand

Ωм.см

1-50

u0026 emsp;

4

Typ / Dotierstoff

u0026 emsp;

r, n /

u0026 emsp;

Bor,  Phosphor

5

Dicke

мкм

1гр. - 620,

u0026 emsp;

2гр. - 650

3гр. - 680

4гр. - 700

5гр. - 720

6

gbir (ttv

мкм

1-3гр. u0026 lt; 30,

u0026 emsp;

4-5гр. u0026 lt; 20

7

Gluf (tir

мкм

u0026 lt; 10

u0026 emsp;

8

Kette

мкм

u0026 lt; 60

u0026 emsp;

9

Bogen

мкм

u0026 lt; 40

u0026 emsp;

10

Metall  Kontamination

1 / см2

u0026 lt; 3e10

u0026 emsp;

11

Vorderseite

u0026 emsp;

poliert

u0026 emsp;

12

Vorderseite  visuell:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

u0026 emsp;

Dunst, Kratzer,  Flecken, Flecken

u0026 emsp;

keiner

Orangenschale

u0026 emsp;

keiner

Risse, Krater

u0026 emsp;

keiner

13

Vorderseite lpd:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

Anzahl der Wafer  mit dem angegebenen Parameterwert sollte nicht weniger als 80% der Charge sein,

u0026 lt; 0,12мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 100

u0026 lt; 0,16мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 50

u0026 lt; 0,20мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 20

u0026 lt; 0,30мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 10