Die Templatprodukte von Siliciumcarbid oder Siliciumpam-Xiamen ermöglichen 20-50% kürzere Epitaxiezykluszeiten und höherwertige epitaxiale Vorrichtungsschichten mit besserer struktureller Qualität und höherer Wärmeleitfähigkeit, was die Kosten, die Ausbeute und die Leistung der Vorrichtungen verbessern kann.
moq :
1gan (Galliumnitrid) -Templates
Die Templatprodukte von pam-xiamen bestehen aus kristallinen Schichten aus Galliumnitrid (gan), Aluminiumnitrid (aln), Aluminiumgalliumnitrid (algan) und Indiumgalliumnitrid (ingan), die auf Saphirsubstraten abgeschieden sind. Pam-Xiamen-Templat-Produkte ermöglichen 20-50% kürzere Epitaxie-Zykluszeiten und epitaktische Schichten höherer Qualität mit besserer struktureller Qualität und höherer Wärmeleitfähigkeit, was die Kosten, die Ausbeute und die Leistung der Vorrichtungen verbessern kann.
2 "gan templates Epitaxie auf Saphirsubstraten
|
Artikel |
pam-2inch-gant-n |
Pam-2Zoll-Gant-Si |
|
|
Leitung Art |
n-Typ |
halbisolierend |
|
|
Dotierstoff |
Si dotiert oder undotiert |
fe dotiert |
|
|
Größe |
2 "(50 mm) dia. |
||
|
Dicke |
4um, 20um, 30um, 50um, 100um |
30um, 90um |
|
|
Orientierung |
c-Achse (0001) +/- 1 O |
||
|
Widerstand (300k) |
u0026 lt; 0,05 u0026 OHgr; · cm |
u0026 gt; 1x10 6 Ω · cm |
|
|
Luxation Dichte |
u0026 lt; 1x10 8 cm-2 |
||
|
Substrat Struktur |
gan an Saphir (0001) |
||
|
Oberflächenfinish |
Single oder Doppelseitig poliert, epi-ready |
||
|
nutzbare Fläche |
≥ 90% |
||
2 "gan templates Epitaxie auf Saphirsubstraten
|
Artikel |
Pam-gant-p |
|
Leitung Art |
p-Typ |
|
Dotierstoff |
mg dotiert |
|
Größe |
2 "(50 mm) dia. |
|
Dicke |
5um, 20um, 30um, 50um, 100um |
|
Orientierung |
c-Achse (0001) +/- 1 O |
|
Widerstand (300k) |
u0026 lt; 1 u0026 OHgr; · cm oder u0026 lgr; Brauch |
|
Dotierstoff Konzentration |
1e17 (cm-3) oder Brauch |
|
Substrat Struktur |
gan an Saphir (0001) |
|
Oberflächenfinish |
Single oder Doppelseitig poliert, epi-ready |
|
nutzbare Fläche |
≥ 90% |
3 "gan templates Epitaxie auf Saphirsubstraten
|
Artikel |
pam-3inch-gant-n |
|
|
Leitung Art |
n-Typ |
|
|
Dotierstoff |
Si dotiert oder undotiert |
|
|
Ausschluss Zone: |
5mm von außen Durchmesser |
|
|
Dicke: |
20um, 30um |
|
|
Luxation Dichte |
u0026 lt; 1x10 8 cm-2 |
|
|
Blatt Widerstand (300k): |
u0026 lt; 0,05 u0026 OHgr; · cm |
|
|
Substrat: |
Saphir |
|
|
Orientierung : |
c-Ebene |
|
|
Saphir Dicke: |
430um |
|
|
Polieren: |
einzelne Seite poliert, epi-bereit, mit atomaren Schritten. |
|
|
Rückseite Beschichtung: |
(Gewohnheit) hoch Qualität Titanium Beschichtung, Dicke u0026 gt; 0,4 um |
|
|
Verpackung: |
individuell verpackt unter Argonatmosphäre vakuumversiegelt im Reinraum der Klasse 100. |
3 "gan templates Epitaxie auf Saphirsubstraten
|
Artikel |
pam-3inch-gant-si |
|
|
Leitung Art |
halbisolierend |
|
|
Dotierstoff |
fe dotiert |
|
|
Ausschluss Zone: |
5mm von außen Durchmesser |
|
|
Dicke: |
20um, 30um, 90um (20um ist das Beste) |
|
|
Luxation Dichte |
u0026 lt; 1x10 8 cm-2 |
|
|
Blatt Widerstand (300k): |
u0026 gt; 10 6 ohm.cm |
|
|
Substrat: |
Saphir |
|
|
Orientierung : |
c-Ebene |
|
|
Saphir Dicke: |
430um |
|
|
Polieren: |
einzelne Seite poliert, epi-bereit, mit atomaren Schritten. |
|
|
Rückseite Beschichtung: |
(Gewohnheit) hoch Qualität Titanium Beschichtung, Dicke u0026 gt; 0,4 um |
|
|
Verpackung: |
individuell verpackt unter Argonatmosphäre vakuumversiegelt im Reinraum der Klasse 100. |
4 "Gan-Template epitaxial auf Saphirsubstraten
|
Artikel |
Pam-4inch-Gant-n |
|
Leitung Art |
n-Typ |
|
Dotierstoff |
undotiert |
|
Dicke: |
4um |
|
Luxation Dichte |
u0026 lt; 1x108cm-2 |
|
Blatt Widerstand (300k): |
u0026 lt; 0,05 u0026 OHgr; · cm |
|
Substrat: |
Saphir |
|
Orientierung : |
c-Ebene |
|
Saphir Dicke: |
- |
|
Polieren: |
einzelne Seite poliert, epi-bereit, mit atomaren Schritten. |
|
Verpackung: |
individuell verpackt unter Argonatmosphäre vakuumversiegelt im Reinraum der Klasse 100. |
2 "algan, ingan, aln epitaxie auf saphirschablonen: custom
2 "-Aln-Epitaxie auf Saphir-Templates
|
Artikel |
Pam-Al-Si |
|
|
Leitung Art |
halbisolierend |
|
|
Durchmesser |
Ä 50,8 mm ± 1 mm |
|
|
Dicke: |
1000nm +/- 10% |
|
|
Substrat: |
Saphir |
|
|
Orientierung : |
c-Achse (0001) +/- 1 O |
|
|
Orientierung eben |
ein Flugzeug |
|
|
xrd fwhm von (0002) |
u0026 lt; 200 Bogensekunde. |
|
|
brauchbar Oberfläche |
≥90% |
|
|
Polieren: |
keiner |
2 "- Inganepitaxie auf Saphirschablonen
|
Artikel |
Pam-Ing |
|
|
Leitung Art |
- |
|
|
Durchmesser |
Ä 50,8 mm ± 1 mm |
|
|
Dicke: |
100-200 nm, Brauch |
|
|
Substrat: |
Saphir |
|
|
Orientierung : |
c-Achse (0001) +/- 1 O |
|
|
Dotierstoff |
im |
|
|
Luxation Dichte |
~ 10 8 cm-2 |
|
|
brauchbar Oberfläche |
≥90% |
|
|
Oberflächenfinish |
Single oder Doppelseitig poliert, epi-ready |
2 "Algan-Epitaxie auf Saphir-Vorlagen
|
Artikel |
Pam-Al-Si |
|
|
Leitung Art |
halbisolierend |
|
|
Durchmesser |
Ä 50,8 mm ± 1 mm |
|
|
Dicke: |
1000nm +/- 10% |
|
|
Substrat: |
Saphir |
|
|
Orientierung : |
c-Ebene |
|
|
Orientierung eben |
ein Flugzeug |
|
|
xrd fwhm von (0002) |
u0026 lt; 200 Bogensekunde. |
|
|
brauchbar Oberfläche |
≥90% |
|
|
Polieren: |
keiner |
2 "gan auf 4h oder 6h sic Substrat
|
1) undotiertes gan Puffer oder Aln-Puffer sind verfügbar; |
||||
|
2) n-Typ (si dotierte oder undotierte, p-leitende oder semi-isolierende gan-Epitaxieschichten verfügbar; |
||||
|
3) vertikal leitfähige Strukturen auf n-Typ sic; |
||||
|
4) algan - 20-60 nm dick, (20% -30% al), Si-dotierter Puffer; |
||||
|
5) gan n-Typ Schicht auf 330μm +/- 25um dickem 2 "Wafer. |
||||
|
6) einzeln oder doppelseitig poliert, epi-bereit, ra u0026 lt; 0,5um |
||||
|
7) typisch Wert auf xrd: |
||||
|
Wafer-ID |
Substrat-ID |
xrd (102) |
xrd (002) |
Dicke |
|
# 2153 |
x-70105033 (mit aln) |
298 |
167 |
679um |
2 "gan auf Siliziumsubstrat
|
1) Gan-Schicht Dicke: 50nm-4um; |
|
2) n Typ oder halbisolierende gan sind verfügbar; |
|
3) einzeln oder doppelseitig poliert, epi-bereit, ra u0026 lt; 0,5um |
Hydriddampfphasenepitaxie (Hvpe) -Verfahren
gewachsen durch hvpe-Prozess und Technologie für die Herstellung von Verbindungshalbleitern wie gan, aln und algan. Sie werden in einer breiten Anwendung verwendet: Festkörperbeleuchtung, kurzwellige Optoelektronik und HF-Leistungsbauelement.
Bei dem HVP-Verfahren werden Nitride der Gruppe III (wie gan, aln) gebildet, indem heiße gasförmige Metallchloride (wie gacl oder alcl) mit Ammoniakgas (nh3) umgesetzt werden. die Metallchloride werden erzeugt, indem heißes HCl-Gas über die heißen Metalle der Gruppe III geleitet wird. Alle Reaktionen werden in einem temperaturgesteuerten Quarzofen durchgeführt.
pam-xiamen hat die Herstellungstechnologie für freistehende (Galliumnitrid) gan Substratwafer, die für uhb-led und ld ist, etabliert. gewachsen durch Hydriddampfphasenepitaxie (Hvpe) -Technologie, hat unser Gansubstrat eine geringe Defektdichte.
pam-xiamens Gan (Galliumnitrid) -basierter LED-Epitaxialwafer ist für Anwendungen mit ultrahoher Helligkeit für blaue und grüne Leuchtdioden (LED) und Laserdioden (LD) geeignet.
Galliumnitrid (Gan) Hemts (Transistoren mit hoher Elektronenbeweglichkeit) sind die nächste Generation von HF-Leistungstransistor-Technologie. Dank der Gan-Technologie bieten Pam-Xiamen nun Algan / Gan-Hemt-Epi-Wafer auf Saphir oder Silizium und Algan / Gan auf Saphir-Template .
pam-xiamen bietet Dummy-Wafer / Test-Wafer / Monitor-Wafer
Silizium-Epitaxie-Wafer (Epi-Wafer) ist eine Schicht aus Einkristall-Silizium auf einem Einkristall-Silizium-Wafer abgeschieden (Anmerkung: es ist verfügbar, um eine Schicht aus polykristallinen Silizium-Schicht auf einem hoch dotierten einkristallinen Silizium-Wafer wachsen, aber es braucht Pufferschicht (wie Oxid oder Poly-Si) zwischen dem Bulk-S4
der Ätzwafer hat die Eigenschaften einer geringen Rauhigkeit, eines guten Glanzes und relativ niedriger Kosten und ersetzt direkt den polierten Wafer oder den epitaktischen Wafer, der relativ hohe Kosten aufweist, um die elektronischen Elemente in einigen Gebieten herzustellen, um die Kosten zu reduzieren. Es gibt Wafer mit geringer Rauhigkeit, ger4
wir stellen verschiedene Arten von Epi-Wafer iii-v-Silizium-dotierten n-Typ-Halbleitermaterialien her, basierend auf ga, al, in, as und p, die durch mbe oder mocvd gezüchtet wurden. Wir liefern kundenspezifische Strukturen nach Kundenspezifikationen. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
Xiamen Powerway bietet insb Wafer - Indium Antimonid, die durch Lec (Flüssigkeit eingekapselt Czochralski) als Epi-Ready oder mechanische Klasse mit n-Typ, p-Typ oder semi-isolierende in unterschiedlicher Orientierung (111) oder (100) angebaut werden.
Kontakt Informationen
luna@powerwaywafer.compowerwaymaterial@gmail.com 
+86-592-5601 404
