Zuhause / Dienstleistungen / Wissen / 3. Definitionen der Siliziumkarbid-Epitaxie
3. Definitionen der Siliziumkarbid-Epitaxie
  • 3-1. große Punktdefekte

    2018-01-08

    Defekte, die für das nicht unterstützte Auge eine klare Form aufweisen und & gt; 50 Mikrometer quer. Zu diesen Merkmalen gehören Spikes, anhaftende Partikel, Späne und Krater. große Punktdefekte mit einem Abstand von weniger als 3 mm zählen als ein Defekt.

  • 3-2. Kratzer

    2018-01-08

    Rillen oder Schnitte unterhalb der Oberflächenebene des Wafers mit einem Länge-zu-Breite-Verhältnis von mehr als 5 zu 1. Kratzer werden durch die Anzahl von diskreten Kratzern multipliziert mit der Gesamtlänge im Bruchteildurchmesser angegeben.

  • 3-3. Dellenbildung

    2018-01-08

    eine Textur, die der Oberfläche eines Golfballs ähnelt. angegeben in% betroffener Bereich.

  • 3-4. Schrittbündelung

    2018-01-08

    Step-Bunching ist als ein Muster paralleler Linien sichtbar, die senkrecht zum Haupt- at verlaufen. Wenn vorhanden, schätzen Sie den Prozentsatz der betroffenen Fläche ab.

  • 3-5. Rückseite Sauberkeit

    2018-01-08

    geprüft durch Prüfung auf eine einheitliche Farbe der Waferrückseite. Es ist anzumerken, dass es in der Nähe der Mitte einiger höher dotierter Wafer einen dunkleren Bereich gibt. Sauberkeit auf der Rückseite als Prozentsatz der sauberen Fläche angegeben.

  • 3-6. Rand-Chips

    2018-01-08

    Bereiche, in denen Material unbeabsichtigt von der Scheibe entfernt wurde. Verwechseln Sie keine Frakturen in der Epi-Krone mit Kantenspänen.

  • 3-7. ID richtig und Hauptwafer flach

    2018-01-08

    beide sollten leicht erkennbar sein.

  • 3-8. 3c Einschlüsse

    2018-01-08

    Regionen, in denen der Schritt während des Wachstums der Epi-Schicht unterbrochen wurde. typische Regionen sind im Allgemeinen dreieckig, obwohl manchmal mehr runde Formen zu sehen sind. einmal pro Auftreten zählen. zwei Einschlüsse innerhalb von 200 Mikrometer zählen als eins.

zuerst 1 2 >> letzte
[  insgesamt  2  Seiten]

kontaktiere uns

wenn Sie ein Angebot oder mehr Informationen über unsere Produkte möchten, lassen Sie uns bitte eine Nachricht, wird Ihnen so schnell wie möglich antworten.