Regionen, in denen der Schritt während des Wachstums der Epi-Schicht unterbrochen wurde. typische Regionen sind im Allgemeinen dreieckig, obwohl manchmal mehr runde Formen zu sehen sind. einmal pro Auftreten zählen. zwei Einschlüsse innerhalb von 200 Mikrometer zählen als eins.
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