Kometenschweife haben einen diskreten Kopf und einen nachlaufenden Schwanz. Diese Merkmale sind parallel zu dem Hauptbereich ausgerichtet. normalerweise haben alle Kometenschweife die gleiche Länge. einmal pro Auftreten zählen. zwei Kometenschweife innerhalb von 200 Mikron zählen als Eins.
ähnlich wie Kometenschweife in Aussehen, außer sie sind mehr eckig und fehlt ein diskreter Kopf. wenn vorhanden, sind diese Merkmale parallel zum Haupt-At ausgerichtet. Gewöhnlich haben alle vorhandenen Karotten die gleiche Länge. einmal pro Auftreten zählen. zwei Karotten innerhalb von 200 Mikron zählen als eins.
Teilchen haben das Aussehen von Augen und sind, wenn sie vorhanden sind, gewöhnlich an den Waferkanten konzentriert und nicht innerhalb des spezifizierten Bereichs. Wenn vorhanden, zählen Sie einmal pro Vorkommen. Zwei Partikel innerhalb von 200 Mikrometer zählen als eins.
Siliziumtröpfchen können entweder als kleine Hügel oder Vertiefungen in der Waferoberfläche erscheinen. normalerweise abwesend, aber wenn vorhanden, sind sie hauptsächlich am Umfang des Wafers konzentriert. Wenn vorhanden, schätzen Sie den Prozentsatz der betroffenen Fläche ab.
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