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3-1. große Punktdefekte

3. Definitionen der Siliziumkarbid-Epitaxie

3-1. große Punktdefekte

2018-01-08

Defekte, die für das nicht unterstützte Auge eine klare Form aufweisen und & gt; 50 Mikrometer quer. Zu diesen Merkmalen gehören Spikes, anhaftende Partikel, Späne und Krater. große Punktdefekte mit einem Abstand von weniger als 3 mm zählen als ein Defekt.

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