Substrate für III-V-Nitridfilmabscheidung
Kristall
Struktur
Schmelzpunkt
Dichte
Gitter-mis-match zu gan
Wärmeausdehnung
Wachstum Tech. .\u0026Ampere; maximale Größe
Standard-Substratgröße (mm)
O c
g / cm 3
(10 -6 / k)
sic
(6h als Beispiel)
sechseckig
~ 2700
3.21
3,5% Atori.
10.3
CVD
Ø2 \"x 0,3, Ø3\" x0,3
a = 3,073 Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
20x20x0,3,15x15x0,3
c = 15,117 Å
\u0026 emsp;
Ø3 \"
10x10x0,3,5x5x0,3
\u0026 emsp;
subl.
\u0026 emsp;
1 Seite Epi poliert
al 2 O 3
sechseckig
2030
3.97
14% Atori.
7.5
cz
Ø50 x 0,33
a = 4,758 Å
\u0026 emsp;
Ø25 x 0,50
c = 12,99 Å
Ø2 \"
10x10x0.5
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
1 oder 2 Seiten epi poliert
Lialo 2
tetragonal
1900 ~
2.62
1,4% Atori.
/
cz
10x10x0.5
a = 5,17 Å
Ø20 mm
1 oder 2 Seiten epi poliert
c = 6,26 Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
Ligao 2
Orthor.
1600
4.18
0,2% Atori.
/
cz
10x10x0.5
a = 5,406 Å
Ø20 mm
1 oder 2 Seiten epi poliert
b = 5,012 Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
c = 6,379 Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
Mag ich
kubisch
2852
3.58
3% Atori.
12.8
Fluss
2 \"× 2\" × 0,5 mm, Ø 2 \"× 0,5 mm
a = 4,216 Å
\u0026 emsp;
1 \"× 1\" × 0,5 mm, Ø 1 \"× 0,5 mm
\u0026 emsp;
Ø2 \"
10 x 10 x 0,5 mm
1 oder 2 Seiten epi poliert
mgal 2 O 4
kubisch
2130
3.6
9% Atori.
7.45
cz
Ø2 \"x 0,5
a = 8,083 Å
Ø2 \"
10x10x0.5
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
1 oder 2 Seiten epi poliert
zno
Sechseck
1975
5.605
2,2% Atori.
2.9
Hydro-Thermal
20x20x0,5
a = 3,325 Å
20 mm
1 oder 2 Seiten epi poliert
c = 5,213 Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
Gan
sechseckig
\u0026 emsp;
6.15
\u0026 emsp;
5.59
\u0026 emsp;
10x10x0,475mm
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
5x5x0,475mm