Schicht

Zusammensetzung

Dicke (um)

Dotierung (cm-3)

Deckel

p + - Gaas

0.2

zn: \u0026 gt; 1e19

Verkleidung

p - al0.8ga0.2as

1

zn: 1e18

Ätzstopp

Gewinn

0,008

zn: 1e18

obere Barriere

al0.45ga0.55as

0,09

undotiert

Gut

al0.18ga0.82as

0,004

undotiert

Barriere

al0.45ga0.55as

0,01

undotiert

Gut

al0.18ga0.82as

0,004

undotiert

Barriere

al0.45ga0.55as

0,01

undotiert

Gut

al0.18ga0.82as

0,004

undotiert

untere Barriere

al0.45ga0.55as

0,09

undotiert

Verkleidung

n - al0,8ga0,2as

1.4

si: 1e18

Puffer

n - Gaas

0.5

si: 1e18

Substrat

n + - Gaas

\u0026 emsp;

s: \u0026 gt; 1e18