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Passivierung feuchter chemischer Oberflächen von Germanium-Wafern durch Chinhydron-Methanol-Behandlung zur Messung der Lebensdauer von Minority Carrier

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Passivierung feuchter chemischer Oberflächen von Germanium-Wafern durch Chinhydron-Methanol-Behandlung zur Messung der Lebensdauer von Minority Carrier

2018-11-26

Wir haben Chinhydron / Methanol (Q / M) -Behandlung auf Germanium (Ge) -Oberflächen angewendet und haben gezeigt, dass diese Behandlung auch für die Passivierung von Ge-Oberflächen für Messungen der Minoritätsträgerlebensdauer effektiv ist. Es wurde eine Oberflächenrekombinationsgeschwindigkeit (S) von weniger als 20 cm / s erhalten, was es uns ermöglicht, die Gesamtlebensdauer von Minoritätsträgern, τb, in zu bestimmen Ge Wafer . Nach unserem besten Wissen ist dies der erste Bericht über die nasschemische Behandlung, der erfolgreich auf Ge-Oberflächen mit niedrigen Werten von S angewendet wurde.


Quelle: Iopscience


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