InSb Filme mit verschiedenen Dicken wurden durch Magnetron-Sputtern auf SiO 2 / Si-Substraten abgeschieden und anschließend mit 17 MeV Au + 7-Ionen bestrahlt. Die strukturellen und elektronischen Veränderungen, die durch Ionenbestrahlung induziert wurden, wurden mit Synchrotron - und Labortechniken untersucht. Die Ionenbestrahlung von InSb verwandelt kompakte Filme (amorph und polykristallin) in offenzellige feste Schäume. Die Anfangsstadien der Porosität wurden mittels Transmissionselektronenmikroskopie untersucht und zeigen, dass die poröse Struktur als kleine kugelförmige Hohlräume mit einem Durchmesser von etwa 3 nm beginnt. Die Entwicklung der Porosität wurde mittels Rasterelektronenmikroskopie untersucht, die zeigt, dass die Schichtdicke mit zunehmender Strahlungsfluenz bis zu 16fach zunimmt. Hier zeigen wir, dass amorphe InSb-Filme bei Bestrahlung mit 17 MeV Au + 7-Ionen bei Energien über 1014 cm-2 zu polykristallinen Schäumen werden. Die Filme erreichen eine Zinkblende-Phase mit zufällig orientierten Kristalliten, ähnlich der polykristallinen Struktur, die durch thermisches Tempern unbestrahlter Filme erhalten wird.

Quelle: IOPscience

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