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5-2-1-2 elektrische Eigenschaften

5. Siliciumcarbid-Technologie

5-2-1-2 elektrische Eigenschaften

2018-01-08

aufgrund der unterschiedlichen Anordnung der Si - und C - Atome innerhalb des Sic - Kristallgitters, jeder Sic - Polytyp

weist einzigartige grundlegende elektrische und optische Eigenschaften auf. einige der wichtigeren Halbleiter

Die elektrischen Eigenschaften der Polytypen 3c, 4h und 6h sind in Tabelle 5.1 angegeben. viel mehr

detaillierte elektrische Eigenschaften können in den Referenzen 11 bis 13 und den Referenzen darin gefunden werden. sogar innerhalb eines

Bei gegebenem Polytyp sind einige wichtige elektrische Eigenschaften nicht-isotrop, da sie starke Funktionen sind

der kristallographischen Richtung des Stromflusses und des angelegten elektrischen Feldes (z. B. Elektronenbeweglichkeit)

für 6h-sic). Dotierstoffverunreinigungen können in energetisch nicht äquivalente Stellen eingebaut werden. während alle

Dotierungsionisationsenergien, die mit verschiedenen Dotierstoffeinbaustellen assoziiert sind, sollten normalerweise sein

In Tabelle 5.1 sind nur die oberflächlichsten Ionisationsenergien aufgeführt

Verunreinigung.





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