dünn (Dicke hängt vom Scheibendurchmesser ab, ist aber typischerweise kleiner als 1 mm), kreisförmige Scheibe aus einkristallinem Halbleitermaterial, die aus dem Ingot eines Einkristallhalbleiters geschnitten ist; zur Herstellung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen; Waferdurchmesser können von 5 mm bis 300 mm reichen.
gemessen mit ansi zerti fi zierten berührungslosen Werkzeugen in der Mitte jedes einzelnen Wafers.