der lineare Abstand über der Oberfläche einer kreisförmigen Scheibe, die das Scheibenzentrum enthält und keine Abflachungen oder andere periphere Treuebereiche ausschließt. Standard-Silizium-Wafer-Durchmesser sind: 25,4 mm (1 Zoll), 50,4 mm (2 Zoll), 76,2 mm (3 Zoll), 100 mm (4 Zoll), 125 mm (5 Zoll), 150 mm (6 Zoll), 200 mm (8 Zoll) und 300 mm (12 \").
die lineare Dimension über die Oberfläche eines Wafers. Die Messung erfolgt manuell mit aniszertifizierten digitalen Messschiebern auf jedem einzelnen Wafer.
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