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2-17.Polytypen

2. Definition der dimensionalen Eigenschaften, Terminologie und Methoden von Siliciumcarbidwafern

2-17.Polytypen

2018-01-08

Viele Verbundmaterialien weisen Polymorphie auf, dh sie können in verschiedenen Strukturen, sogenannten Polymorphen, vorkommen. Siliciumcarbid ist in dieser Hinsicht einzigartig, da bis 2006 mehr als 250 polymorphe Formen von Siliciumcarbid identifiziert wurden, wobei einige von ihnen eine Gitterkonstante von bis zu 301,5 nm, etwa eintausend mal die üblichen sic-Gitterabstände, aufweisen.


Die Polymorphe von sic umfassen verschiedene amorphe Phasen, die in dünnen Filmen und Fasern beobachtet werden, sowie eine große Familie ähnlicher kristalliner Strukturen, die als Polytypen bezeichnet werden


Bereiche der Waferkristallographie, die polykristallin oder aus einem anderen polytypischen Material als der Rest des Wafers sind, wie etwa 6h, gemischt mit einem Substrat vom 4h-Typ. Fremdpolytypbereiche weisen häufig Farbänderungen oder ausgeprägte Grenzlinien auf und werden in Flächenprozent unter diffuser Beleuchtung beurteilt.

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