Eine kleine Fresnel-Linsenanordnung wurde in eine Diamantform gedreht Einkristall-InSb-Wafer Verwenden eines negativen Einschnitt-Diamantwerkzeugs mit einem halben Radius (–25 °). Das bearbeitete Array bestand aus drei konkaven Fresnel-Linsen, die unter verschiedenen Bearbeitungssequenzen geschnitten wurden. Die Fresnel-Linsenprofile wurden entworfen, um im paraxialen Bereich mit einer quadratischen Phasenverteilung zu arbeiten. Die Probe wurde durch Rasterelektronenmikroskopie und ein optisches Profilometer untersucht.

Optische Profilometrie wurde auch verwendet, um die Oberflächenrauheit der bearbeiteten Oberfläche zu messen. Duktile bandartige Chips wurden auf der Spanfläche des Schneidwerkzeugs beobachtet. An dem Diamantwerkzeug wurden keine Anzeichen von Schneidkantenverschleiß beobachtet. Die bearbeitete Oberfläche zeigte eine amorphe Phase, die durch Mikro-Raman-Spektroskopie untersucht wurde. Eine erfolgreiche Wärmebehandlung des Temperns wurde durchgeführt, um die kristalline Phase auf der bearbeiteten Oberfläche wiederzugewinnen. Die Ergebnisse zeigten, dass es möglich ist, einen mechanischen Lithographieprozess durchzuführen Einkristall-Halbleiter .

Quelle: Iopscience

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