Die meisten elektronischen Geräte werden nicht direkt in Sublimations-gewachsenen Wafern hergestellt, sondern stattdessen in Epitaxieschichten mit viel höherer Qualität hergestellt, die auf dem anfänglichen sublimationsgewachsenen Wafer aufgewachsen werden. gut gewachsene sic epilayers haben überlegene elektrische Eigenschaften und sind kontrollierbarer und reproduzierbarer als sublimationsgewachsenes sic-Wafermaterial. Daher ist das kontrollierte Wachstum qualitativ hochwertiger Epitaxieschichten sehr wichtig für die Realisierung nützlicher Elektronik.
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