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2-22. Oberflächenrauheit

2. Definition der dimensionalen Eigenschaften, Terminologie und Methoden von Siliciumcarbidwafern

2-22. Oberflächenrauheit

2018-01-08

oft verkürzt auf Rauheit, ist ein Maß für die Textur einer Oberfläche. es wird durch die vertikalen Abweichungen einer realen Oberfläche von ihrer idealen Form quantifiziert. Wenn diese Abweichungen groß sind, ist die Oberfläche rauh; wenn sie klein sind, ist die Oberfläche glatt.

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