Substrate für III-V-Nitridfilmabscheidung
Kristall |
Struktur |
Schmelzpunkt |
Dichte |
Gitterfehlabstimmung zu gän |
Wärmeausdehnung |
Wachstum Tech. .\u0026Ampere; maximale Größe |
Standard-Substrat Größe (mm) |
O c |
g / cm 3 |
(10 -6 / k) |
|||||
sic (6h als Beispiel) |
sechseckig |
~ 2700 |
3.21 |
3,5% Atori. |
10.3 |
CVD |
Ø2 \"x 0,3, Ø3\" x0,3 |
a = 3,073 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
20x20x0,3,15x15x0,3 |
||||
c = 15,117 Å |
\u0026 emsp; |
Ø3 \" |
10x10x0,3,5x5x0,3 |
||||
\u0026 emsp; |
subl. |
\u0026 emsp; |
1 Seite Epi poliert |
||||
al 2 O 3 |
sechseckig |
2030 |
3.97 |
14% Atori. |
7.5 |
cz |
Ø50 x 0,33 |
a = 4,758 Å |
\u0026 emsp; |
Ø25 x 0,50 |
|||||
c = 12,99 Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 oder 2 Seiten epi poliert |
|||||
Lialo 2 |
tetragonal |
1900 ~ |
2.62 |
1,4% Atori. |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a = 5,17 Å |
Ø20 mm |
1 oder 2 Seiten epi poliert |
|||||
c = 6,26 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
Ligao 2 |
Orthor. |
1600 |
4.18 |
0,2% Atori. |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a = 5,406 Å |
Ø20 mm |
1 oder 2 Seiten epi poliert |
|||||
b = 5,012 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
c = 6,379 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
Mag ich |
kubisch |
2852 |
3.58 |
3% Atori. |
12.8 |
Fluss |
2 \"× 2\" × 0,5 mm, Ø 2 \"× 0,5 mm |
a = 4,216 Å |
\u0026 emsp; |
1 \"× 1\" × 0,5 mm, Ø 1 \"× 0,5 mm |
|||||
\u0026 emsp; |
Ø2 \" |
10 x 10 x 0,5 mm |
|||||
1 oder 2 Seiten epi poliert |
|||||||
mgal 2 O 4 |
kubisch |
2130 |
3.6 |
9% Atori. |
7.45 |
cz |
Ø2 \"x 0,5 |
a = 8,083 Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 oder 2 Seiten epi poliert |
|||||
zno |
Sechseck |
1975 |
5.605 |
2,2% Atori. |
2.9 |
Hydro-Thermal |
20x20x0,5 |
a = 3,325 Å |
20 mm |
1 oder 2 Seiten epi poliert |
|||||
c = 5,213 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
Gan |
sechseckig |
\u0026 emsp; |
6.15 |
\u0026 emsp; |
5.59 |
\u0026 emsp; |
10x10x0,475mm |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
5x5x0,475mm |