Wir haben die Transmissions-Fourier-Transformations-Infrarotspektren von kubischem Siliciumcarbid gemessen(3C-SiC-Polytyp) Epitaxieschicht mit einer Dicke von 20 µm auf einem 200 µm dicken Siliziumsubstrat. Spektren wurden im Wellenzahlbereich von 400–4000 cm−1 aufgenommen. Ein neuartiger Ansatz zur Berechnung von IR-Spektren basierend auf der Rekursionsfähigkeit der Programmiersprache C wird anhand der Ausbreitung von polarisiertem Licht in geschichteten Medien unter Verwendung von verallgemeinerten Fresnel-Gleichungen vorgestellt. Die komplexen Brechungsindizes sind die einzigen Eingabeparameter. Zwischen allen experimentellen SiC- und Si-Spektralmerkmalen und den berechneten Spektren wird eine bemerkenswerte Übereinstimmung gefunden. Eine umfassende Zuordnung von (i) den beiden grundlegenden transversalen optischen (TO) (790 cm-1) und longitudinalen optischen (LO) (970 cm-1) Phononenmoden von 3C-SiC, (ii) mit ihren Obertönen (1522–1627 cm−1) und (iii) den optisch-akustischen Zwei-Phononen-Summationsbanden (1311–1409 cm−1) wird auf der Grundlage verfügbarer Literaturdaten erreicht. Dieser Ansatz ermöglicht das Aussortieren der jeweiligen Beiträge des Si-Substrats undSiC-Oberschicht . Solche Berechnungen können auf jedes Medium angewendet werden, vorausgesetzt, dass die komplexen Brechungsindexdaten bekannt sind.

Quelle: IOPscience

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