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Elektrische und strukturelle Eigenschaften von gan-Filmen und gan / ingan-Leuchtdioden, die auf porösen gan-Templates wachsen, die durch kombiniertes elektrochemisches und photoelektrochemisches Ätzen hergestellt wurden

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Elektrische und strukturelle Eigenschaften von gan-Filmen und gan / ingan-Leuchtdioden, die auf porösen gan-Templates wachsen, die durch kombiniertes elektrochemisches und photoelektrochemisches Ätzen hergestellt wurden

2017-11-03

Höhepunkte

• Die poröse Gan-Matrize wurde durch elektrochemisches und photoelektrochemisches Ätzverfahren hergestellt.

• Ingan / Gan Leuchtdioden (LED) Struktur wurde auf der geätzten Gan-Vorlage überwuchert.

• überwachsene Gan-Filme und LEDs zeigten eine geringere Belastung und eine geringere Dichte von Oberflächendefekten.

• Die überwucherten LED-Strukturen zeigten eine verbesserte Elektrolumineszenz-Effizienz.


poröse gan-Templates wurden durch kombiniertes elektrochemisches Ätzen (ece) und rückseitiges photoelektrochemisches Ätzen (pece) hergestellt, gefolgt von dem Überwachsen von gan-Filmen und ingan / gan-Mehrfach-Quantum-Well (mqw) -Lichtemitterdioden (LED) -Strukturen. Strukturelle, lumineszierende und elektrische Eigenschaften der Gan- und LED-Strukturen wurden untersucht und mit den Eigenschaften von Strukturen verglichen, die unter den gleichen Bedingungen auf Templates gezüchtet wurden, die keiner Ece-Pece-Behandlung unterzogen wurden. das Überwachsen der LED-Strukturen auf den Ece-Pece-Templates reduzierte die Spannung, das Cracken und die Mikropits, was zu einer erhöhten internen Quanteneffizienz und Lichtextraktionseffizienz führte. diese Lumineszenzverstärkung wurde in überwachsenen Gan-Filmen beobachtet, war jedoch für Ingan / Gan-geführte Strukturen aufgrund der Unterdrückung des piezoelektrischen Polarisationsfeldes in qws ausgeprägter.

Schlüsselwörter

elektrochemisches Ätzen; photoelektrochemisches Ätzen; poröses Gan; Leuchtdioden


Quelle: sciencedirect


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