die Dichte und Lichtstreuintensität von Sauerstoff präzipitiert in cz Silizium Kristalle werden durch IR-Lichtstreutomographie gemessen. Die durch die Messungen geklärten numerischen Daten werden in Bezug auf die Menge an ausgefälltem Sauerstoff diskutiert. Die hier erhaltenen Ergebnisse stimmen gut mit der theoretischen Analyse überein, dass Sauerstoffpräzipitate Licht streuen. Die durch ir-Lichtstreutomographie erhaltene Information erklärt sehr gut den Ausfällungsprozeß von Sauerstoff in cz-Siliziumkristallen, und die Dichten von Ausscheidungen, die durch dieses Verfahren erhalten werden, sind zuverlässig.
Quelle: Iopscience
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