Es wurde ein vertikaler Heißwand-Epi-Reaktor entwickelt, der es ermöglicht, gleichzeitig eine hohe Wachstumsrate und eine großflächige Gleichförmigkeit zu erreichen. Mit einer spiegelähnlichen Morphologie bei 1650 ° C wird eine maximale Wachstumsrate von 250 µm / h erreicht. Unter einem modifizierten Epi-Reaktor Aufbau, eine Dickengleichmäßigkeit von 1,1% und eine Dotierungsgleichförmigkeit von 6,...
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