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2-9. (Bereich) Waferverunreinigung

2. Definition der dimensionalen Eigenschaften, Terminologie und Methoden von Siliciumcarbidwafern

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2-9. (Bereich) Waferverunreinigung

2018-01-08

alle Fremdkörper auf der Oberfläche in örtlich begrenzten Bereichen, die unter hoher Intensität (oder diffuser) Beleuchtung als verfärbtes, gesprenkeltes oder trübes Aussehen hervortreten, das von Flecken, Flecken oder Wasserflecken herrührt.

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