eine kumulative Subtraktion aller angegebenen Fehlerbereiche von dem vorderseitigen Waferqualitätsbereich innerhalb der Kantenausschlusszone. der verbleibende Prozentwert gibt an, dass der Anteil der vorderen Oberfläche frei von allen festgestellten Defekten ist (schließt keinen Kantenausschluss ein).
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