Waferskalenanordnungen von wohlgeordneten pb (zr0,2ti0,8) o3-Nanodisks und Nanoringen wurden auf der gesamten Fläche (10 mm × 10 mm) der srruo3-Bodenelektrode auf einem Srrio3-Einkristallsubstrat unter Verwendung der Laserinterferenzlithographie hergestellt (lil) Prozess kombiniert mit gepulster Laserablagerung. Die Form und Größe der Nanostrukturen wurde durch die Menge an pzt, die durch die gemusterten Löcher abgeschieden wurde, und die Temperatur der Nachkristallisationsschritte gesteuert. Röntgenbeugung und Transmissionselektronenmikroskopie bestätigten, dass (001) -orientierte pzt-Nanostrukturen epitaktisch auf der unteren Elektrodenschicht srruo3 (001), die das (001) -orientierte einkristalline Substrat bedeckt, gezüchtet wurden. Die Domänenstrukturen von pzt-Nanoinseln wurden durch reziproke Raumkartierung mittels Synchrotron-Röntgenstrahlung charakterisiert. Die ferroelektrischen Eigenschaften jeder pzt-Nanostruktur wurden durch Rasterkraftmikroskopie im Piezoresponse-Modus charakterisiert.

Quelle: Iopscience

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