der Prozess zur Verringerung der Versetzungsdichte in 3-Zoll-Fe-dotiert Inp-Wafer wird beschrieben. Der Kristallwachstumsprozess ist ein konventioneller flüssigkeitsverkapselter Czochralsky (lec), jedoch wurden thermische Abschirmungen hinzugefügt, um den thermischen Gradienten im wachsenden Kristall zu verringern. Die Form dieser Schilde wurde mit Hilfe numerischer Simulationen von Wärmeübertragu...
Inas-Segmente wurden auf Gaas-Inseln aufgewachsen, zunächst durch Tröpfchen-Epitaxie auf Siliziumsubstrat erzeugt. Wir haben systematisch den Wachstumsparameterraum für die Inasablagerung untersucht und die Bedingungen für das selektive Wachstum identifiziert Gaas und für rein axiales Wachstum. die axialen Inassegmente wurden mit ihren Seitenwänden um 30 $ ^ {{} ^ circ} $ im Vergleich zu den darun...
die Dichte und Lichtstreuintensität von Sauerstoff präzipitiert in cz Silizium Kristalle werden durch IR-Lichtstreutomographie gemessen. Die durch die Messungen geklärten numerischen Daten werden in Bezug auf die Menge an ausgefälltem Sauerstoff diskutiert. Die hier erhaltenen Ergebnisse stimmen gut mit der theoretischen Analyse überein, dass Sauerstoffpräzipitate Licht streuen. Die durch ir-Licht...
Te-dotierte GaSb-Einkristalle werden durch Messung von Hall-Effekt, Infrarot (IR) -Transmission und Photolumineszenz (PL) -Spektren untersucht. Es wurde gefunden, dass das GaSb vom n-Typ mit IR-Durchlässigkeit bis zu 60% durch kritische Kontrolle der Te-Dotierungskonzentration und elektrische Kompensation erhalten werden kann. Die Konzentration der nativen Akzeptor-assoziierten Defekte ist offensi...
Um Hochleistungs-Siliziumkarbid zu realisieren ( SiC ) Leistungsgeräte, niederohmige ohmsche Kontakte zu p-SiC müssen entwickelt werden. Um den ohmschen Kontaktwiderstand zu reduzieren, ist eine Verringerung der Barrierenhöhe an Metall / SiC-Grenzflächen oder eine Erhöhung der Dotierungskonzentration in den SiC-Substraten erforderlich. Da die Verringerung der Barrierenhöhe extrem schwierig ist, ni...
Das Entwicklung des SiC- und GaN-Leistungshalbleitermarktes Der aktuelle Stand der SiC - Technologie und des Marktes sowie der Entwicklungstendenz in den nächsten Jahren. Der Markt für SiC-Geräte ist vielversprechend. Verkauf von Schottky-Barriere Die Dioden sind ausgereift und es wird erwartet, dass die MOSFET-Lieferungen erheblich zunehmen werden in den nächsten drei Jahren. Laut Yole Développem...
Röntgen - topographische und chemische Ätzuntersuchung von Si: Ge-Einkristalle Es wurden 1,2 at% und 3,0 at% Ge zusammen mit genauen Gitterparametermessungen durchgeführt. In Projektionstopographen wurden Beugungskontraste in Form konzentrischer "Quasi-Kreise" (Streifen), wahrscheinlich aufgrund der ungleichmäßigen Verteilung der Ge-Atome, beobachtet. Die Ätzmuster zeigten Banden, die St...
Wir stellen eine berührungslose Methode zur Bestimmung der thermischen Ansprechzeit von in Wafern eingebetteten Temperatursensoren vor. Bei diesem Verfahren beleuchtet eine Blitzlampe in periodischen Impulsen einen Punkt auf dem Wafer; Der Fleck befindet sich auf der gegenüberliegenden Seite des getesteten Sensors. Die thermische Zeitkonstante des Sensors wird dann aus der Messung seiner zeitliche...
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