Inas-Segmente wurden auf Gaas-Inseln aufgewachsen, zunächst durch Tröpfchen-Epitaxie auf Siliziumsubstrat erzeugt. Wir haben systematisch den Wachstumsparameterraum für die Inasablagerung untersucht und die Bedingungen für das selektive Wachstum identifiziert Gaas und für rein axiales Wachstum. die axialen Inassegmente wurden mit ihren Seitenwänden um 30 $ ^ {{} ^ circ} $ im Vergleich zu den darun...
Dieses Papier schlägt eine neue dreidimensionale (3d) Photolithographie Technologie für einen hochauflösenden Mikrostrukturierungsprozess auf einem Fasersubstrat. Ein kurzer Überblick über die Lithographie-Technologie der nicht-planaren Oberfläche wird ebenfalls vorgestellt. Die vorgeschlagene Technologie umfasst hauptsächlich die Mikrofabrikation des 3D-Belichtungsmoduls und die Sprühabscheidung ...
die Dichte und Lichtstreuintensität von Sauerstoff präzipitiert in cz Silizium Kristalle werden durch IR-Lichtstreutomographie gemessen. Die durch die Messungen geklärten numerischen Daten werden in Bezug auf die Menge an ausgefälltem Sauerstoff diskutiert. Die hier erhaltenen Ergebnisse stimmen gut mit der theoretischen Analyse überein, dass Sauerstoffpräzipitate Licht streuen. Die durch ir-Licht...
Te-dotierte GaSb-Einkristalle werden durch Messung von Hall-Effekt, Infrarot (IR) -Transmission und Photolumineszenz (PL) -Spektren untersucht. Es wurde gefunden, dass das GaSb vom n-Typ mit IR-Durchlässigkeit bis zu 60% durch kritische Kontrolle der Te-Dotierungskonzentration und elektrische Kompensation erhalten werden kann. Die Konzentration der nativen Akzeptor-assoziierten Defekte ist offensi...
Die Bestrahlung mit Ionenstrahlen wurde als eine Methode zur Erzeugung von nanoskaligen Halbleitersäulen- und -kegelstrukturen untersucht, hat aber den Nachteil einer ungenauen Anordnung von Nanostrukturen. Wir berichten über eine Methode zum Erstellen und Templating von Nanoskalen InAs Spikes durch Bestrahlung mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB) sowohl von homoepitaktischen InAs-Filmen als auch vo...
Um Hochleistungs-Siliziumkarbid zu realisieren ( SiC ) Leistungsgeräte, niederohmige ohmsche Kontakte zu p-SiC müssen entwickelt werden. Um den ohmschen Kontaktwiderstand zu reduzieren, ist eine Verringerung der Barrierenhöhe an Metall / SiC-Grenzflächen oder eine Erhöhung der Dotierungskonzentration in den SiC-Substraten erforderlich. Da die Verringerung der Barrierenhöhe extrem schwierig ist, ni...
Wir stellen eine berührungslose Methode zur Bestimmung der thermischen Ansprechzeit von in Wafern eingebetteten Temperatursensoren vor. Bei diesem Verfahren beleuchtet eine Blitzlampe in periodischen Impulsen einen Punkt auf dem Wafer; Der Fleck befindet sich auf der gegenüberliegenden Seite des getesteten Sensors. Die thermische Zeitkonstante des Sensors wird dann aus der Messung seiner zeitliche...
Unter Verwendung einer plasmaunterstützten chemischen Dampfabscheidung (PECVD) bei 13,56 MHz wird eine Keimschicht in der anfänglichen Wachstumsstufe des hydrierten mikrokristallinen Materials hergestellt Siliziumgermanium (μc-Si1-xGex: H) i-Schicht. Die Auswirkungen von Impfprozessen auf das Wachstum von μc-Si1-xGex: Hi-Schichten und die Leistung von μc-Si1-xGex: H p-i-n Solarzellen mit Einzelübe...
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