wir berichten über die Erzeugung von Mikroentladungen in Vorrichtungen, die aus mikrokristallinem Material bestehenDiamant. Entladungen wurden in Bauelementstrukturen mit Mikrohohlkathodenentladungsgeometrien erzeugt. eine Struktur bestand aus einem isolierenden Diamantwafer, der auf beiden Seiten mit Bor-dotierten Diamantschichten beschichtet war. eine zweite Struktur bestand aus einem isolierenden Diamantwafer, der auf beiden Seiten mit Metallschichten beschichtet war. In jedem Fall wurde ein einzelnes Submillimeterloch durch die Leiter-Isolator-Leiter-Struktur bearbeitet. Die Entladungen wurden in einer Heliumatmosphäre erzeugt. Durchbruchsspannungen betrugen ungefähr 500 V und Entladeströme im Bereich von 0,1-2,5 mA wurden durch eine Erhaltungsgleichspannung von 300 V aufrechterhalten.

Quelle: Iopscience

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